導(dǎo)引
太赫茲近場(chǎng)顯微成像成譜技術(shù)由于其分辨率可以達(dá)到nm級(jí)別,同時(shí)還能具有頻譜信息,因此在生物細(xì)胞探測(cè)、半導(dǎo)體微納結(jié)構(gòu)檢測(cè)等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用價(jià)值。
那么,太赫茲近場(chǎng)顯微成像成譜系統(tǒng)如何搭建?有哪些核心關(guān)鍵技術(shù)?在半導(dǎo)體領(lǐng)域有哪些重大應(yīng)用?
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